中水回用EMC投资运营服务RECLAIMED WATER REUSE EMC INVESTMENT AND OPERATION SERVICE

中水回用EMC投资运营服务项目案例

  • 北京某碳化硅衬底行业头部龙头企业,其8/英寸碳化硅晶圆量产产线,对生产超纯水的水质纯度、系统运行稳定性、全天候供水连续性有着行业顶级严苛标准,属于宽禁带半导体高端制造领域的高难度水环境配套工程。本次8寸碳化硅产线超纯水扩容项目,是南京朗臣落地的首套半导体超纯水标杆项目,标志着公司正式切入半导体高端水环境服务赛道,为深耕半导体纯水及中水回用领域奠定了核心技术与项目经验基础。

  • 凭借该标杆超纯水项目的优异落地成果,南京朗臣凭借过硬的技术实力与工程交付能力,获得北京某碳化硅企业的高度认可,后续成功承接其半导体中水回用EMC投资运营服务项目。项目落地后系统运行稳定、水质持续达标、节能降耗效果显著,综合服务品质远超客户预期,建立了长期稳固的战略合作关系,也进一步夯实了公司在半导体水环境EPC工程、EMC投资运营领域的核心竞争优势。

PROJECT WATER QUALITY PARAMETERS AND ACCEPTANCE CRITERIA

项目水质参数与验收标准


进水水质条件

本项目回收水源为北京某碳化硅衬底生产车间QDR槽排水,为超纯水(UPW)快速冲洗晶圆、机械手臂后的工艺排水。水体仅残留少量硫酸、盐酸、氨水、双氧水,不含氢氟酸、IPA等高危难处理杂质,水质基底洁净、可资源化利用率高

中水出水水质标准

系统经预处理+双级RO净化工艺处理后,产出一级RO除盐水、二级RO除盐水,可稳定满足超纯水扩容系统进水要求

项目最终验收标准

项目整体验收以双级RO产水核心指标为判定依据,甲乙双方统一验收标准,所有出水指标需稳定达标