PROJECT WATER QUALITY PARAMETERS AND ACCEPTANCE CRITERIA
项目水质参数与验收标准
进水水质条件
本项目回收水源为北京某碳化硅衬底生产车间QDR槽排水,为超纯水(UPW)快速冲洗晶圆、机械手臂后的工艺排水。水体仅残留少量硫酸、盐酸、氨水、双氧水,不含氢氟酸、IPA等高危难处理杂质,水质基底洁净、可资源化利用率高
中水出水水质标准
系统经预处理+双级RO净化工艺处理后,产出一级RO除盐水、二级RO除盐水,可稳定满足超纯水扩容系统进水要求
项目最终验收标准
项目整体验收以双级RO产水核心指标为判定依据,甲乙双方统一验收标准,所有出水指标需稳定达标